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第98章 深硅刻蚀工艺

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“哦?都有哪些传感器?”

孙厂长坐直了身体。

“到目前为止,思路已经成熟的,除了上次展示过的加速度传感器,简单一些的压力传感器,水平传感器,还有飞机上会用到的高度传感器,空速传感器......”

陈泉在黑板上,连续写下了一长串的名字。

既然明白了“他”做的东西,都是传感器,再去寻找那二十多个实验的目的,就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构,陈泉还是摸不清头绪,但其中不少结构,每个实际可以有多种用途。

更不提,“他”提供了好几种通用结构。

所以,有些传感器,是原来“他”实验里包括的,但也有不少,是陈泉跟赵薇薇讨论后,自行扩展出来的。原理搞清楚了,可以很容易的举一反三。

“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

“陀螺仪?陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗?”

刘院长身边的中年人,站了起来。

陀螺仪在很多场合,都是核心传感器。

“您是?”

孙厂长回头询问。

“我是跟老刘一起来的,你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名,其他人互相看了一眼,也就不问了。

“你还没有回答我的问题呢?小伙子!”

“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂,我还特意带来了它的模型。”

陈泉一摆手,曲燕秋就托着一套,由纸壳做的简陋样品,走上讲台。

-------

微电子实验室。

“你的手抖什么抖啊?这块晶圆片算是废了!”

张栋被气得浑身发抖。“你知道,这块晶圆片值多少钱吗?加上刚才消耗的各种药水,制剂,一百元!让你一抖,就这么没了!”

“没有全废吧。那一半不是还能用吗?”

自知犯了大错的成兴,试图分辨。

1989年的冰城,学生生活费,50元一个月能吃饱,100元,绝对能吃好。

“哦,天啊!我真是受够了。”

张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意!让这些连课都没上过的新生,做半导体实验?”

“老张,有点耐心。”

在旁边工作台做实验的科研人员,边操作,边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样,一看就会,一听就懂的。”

“老师,让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”

云丽上前一步。

有了台阶下,张栋的态度好了一点。“行,你跟成兴一组,于耀赢跟李季一组。剩下的冯言,自己一组。”

被训得满脸通红的成兴,感激的看了一眼,身边不起眼的同班女生。

在MEMS小组内,人虽然不多,但隐隐分成了几派。

于耀赢,李季,都是陈泉和曲燕秋的嫡系,而冯言,干脆是陈泉二人的干姐姐,前些天发表的中文综述,还捞到了署名,心态都比较好。

而云丽和成兴,被拉入小组,完全不知道背后的原因,比较忐忑,做事情也有些畏首畏尾。

由于相似的处境,两个人最近有点抱团取暖的意思。

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会议室。

看到样品,感兴趣的客人,纷纷离开座位,围了过去。

“这不对吧。”

王工上上下下,里里外外的把样品看个通透。

“什么不对?”

冰飞的周总工,就在他的身边。

“这种结构,以现在的MEMS工艺,根本加工不出来吧。”

王工把模型举了起来,抬高到跟视线平齐。“我记得,MEMS所采用的牺牲层工艺,根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”

牺牲层技术(工艺),1985年才被引入到半导体加工领域,“表面”微机械加工概念由此产生。之所以,1988年,震惊世界的微静电马达能够问世,就是拜牺牲层技术所赐。

王工的专业性评价,大多数人没有听懂,但并不妨碍大家把目光投向陈泉,等待解释。

“是的。这个陀螺仪,我不准备只采用牺牲层工艺。”

陈泉没有丝毫慌乱。

记忆里,陀螺仪采用的加工工艺,的确发生了变化。

之所以,陈泉要抛出新论文,也跟加速度传感器论文,被《Applied Physics Letters,应用物理快报》采用有些关系。

应用物理快报,在半导体工艺系列里,算是与MEMS有关联的期刊里,最好的一波期刊了。其SCI影响因子超过了4。

(真正的MEMS专业期刊,还没有面世。)

按理,论文被确定采纳,是件大好事,但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她,都没有任何感觉。

前两次的过关,陈泉和曲燕秋,都能明显看到,或者感到一些不同。

例如第一次过关,曲燕秋被实质激活,第二次,干脆苏醒。可现在,没有消息,就是最坏的消息。

所以两个人,不得不继续拔高心理目标,把论文的层次,再推高一个档次。

这次的目标,盯叮住了CNS(CELL, SCIENCE, NATURE),这三本顶级超一流期刊,一次就给他搞到位。

这种超一流期刊论文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在国内,就可以开宗立派,直接成立专属实验室,乃至新的专业。

这个陀螺仪,以及它后面的工艺论文,就是陈泉和曲燕秋两个人,精心选出来的目标。

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